熱式氣體質量流量計既可進行氣體流量計量工作，也可用于過程控制領域。它引進技術生產，無須溫壓補償，直接測出流體的質量流量。它的突出特點是：沒有可動部件；壓力損失小；量程比寬；精度高；可靠性高；安裝簡單，操作方便。

熱式氣體質量流量計的起源是來自于熱線式風速計。鉑電熱絲的溫度與流體流速的變化有一個比例關系：流速越快，帶走的熱量越多。下面簡單說明為什么通過檢測熱量的變化就能得到氣體的質量流量。

公式：H=m×Cp×ΔT

測的熱量H，同時固定溫度差ΔT，對于固定比熱容Cp的氣體，就可以直接求得氣體的質量流量m。

下面我們在從微觀上說明為什么是氣體直接質量流量測量。

氣體分子與加熱壁接觸完成熱傳導而帶走探針上的熱量。由于不同氣體分子帶走熱量的能力不一樣，所以在已知氣體分子導熱能力的情況下（Cp值已知），可以通過測量耗散的電功率直接獲得流過的氣體分子數（氣體分子數也就是質量數），從而獲得氣體的質量流量。

我們將公式：H=m×Cp×ΔT變換一下，可以得到：m=H/Cp×ΔT

其中：

m是氣體質量流量

H是補償的電功率大小

Cp是定壓比熱容，與氣體種類有關

ΔT是兩探頭間的溫度差

從上面公式可以引申出兩種熱式原理：把分母的溫度差恒定，通過實時測量氣體帶走熱量H的大小來得到氣體的質量流量，這就是目前市場上主流的恒溫差熱式。如果把分子的熱量H恒定，實時測量溫度差的大小來得到氣體質量流量，就是恒功率熱式。

恒溫差原理具有非常好的的低流量特性，即使質量流速低到0.1Nm/s都有很好的線性。此外還具有快速響應的能力。恒功率原理可以檢測較高的流速變化，在大流速應用場合有非常好的表現力，但低流速特性不如恒溫差，其次響應時間相對于恒溫差較差。